超临界流体技术制备微粒比研磨及喷霧干燥法能更好的控制晶形及粒度的大小分布，美国Waters（Thar）公司的标准造粒系统使研究人员更能有效的控制关键参数，帮助产生更微小的颗粒及改善颗粒的表面形态。
超临界造粒有两种方式：
·超临界溶液快速胀法RESS (Rapid Expansion of Supercritical Solutions)
·超临界逆溶剂法SAS (Supercritical AntiSolvent Process)。
超临界造粒适用于：
·极性和非极性组分
·无孔以及高度多空颗粒
·热敏性活性物质
·低熔点到高熔点
·单一到混合组分
·颗粒尺寸可调，良好的颗粒分布，纳米大小
超临界溶液快速膨胀法（RESS）
·配有加热喷嘴、精密流量控制系统及高压搅拌装置
·通过改变压力、温度、浓度及喷嘴尺寸，可制造不同粒度的粉末
·配有Waters（Thar）公司的Process Suite软件系统，整个造粒过程全自动化操作
·应用于非极性物质如类固醇、哮喘药及控释药物等。
该方法用于热敏性物质的微粒制备，传统的造粒方法一般会产生大量的热而使颗粒之间粘连。而将物质溶解在超临界流体中然后通过喷嘴进行喷雾造粒从而避免了这一问题。一般非极性的物质可以溶解在超临界二氧化碳中进行喷雾并且干燥。这种技术就叫做超临界溶液快速膨胀法（RESS）。
·药物通过萃取过程溶解在二氧化碳中
·快速膨胀过程使药物沉降为超细颗粒
·在二氧化碳中的溶解度非常关键
·夹带剂可以起到助溶作用
·可放大
超临界抗溶剂法（SAS）
Thar SAS50及SAS200系统
·配有精密流量控制器，全自动反压装置及温度控制，有效的控制制粒过程
·配有Thar公司的Process Suite软件系统，整个造粒过程全自动化操作
·应用于极性物质如胰岛素、抗生素等药物的超细微粒制备，极性物质不溶于超临界二氧化碳。
一般在SAS过程中，物质先溶解在溶剂中，然后喷雾到一个充满超临界二氧化碳的高压空间。此时超临界将每一滴溶液中的溶剂溶解，将溶质留下而成为极小微粒。这种方法避免了传统造粒的粘连问题。该法常用于药物的活性成分的造粒。通过控制压力，温度和浓度，可以改变微粒大小。
有可视窗的高压容器
·一般，药物通过喷嘴喷雾到充满超临界二氧化碳的容器当中
·二氧化碳作为逆溶剂除去溶剂，使溶液快速饱和将药物（即溶质）沉降为极细颗粒
SAS配置简图